ஒரு தொழில்முறை கண்ணோட்டத்தில், ஒரு சிப்பின் உற்பத்தி செயல்முறை மிகவும் சிக்கலானது மற்றும் சலிப்பை ஏற்படுத்துகிறது. இருப்பினும், IC இன் முழுமையான தொழில்துறை சங்கிலியிலிருந்து, இது முக்கியமாக நான்கு பகுதிகளாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: IC வடிவமைப்பு → IC உற்பத்தி → பேக்கேஜிங் → சோதனை.
சிப் உற்பத்தி செயல்முறை:
1. சிப் வடிவமைப்பு
சிப் என்பது சிறிய அளவு ஆனால் மிக அதிக துல்லியம் கொண்ட ஒரு தயாரிப்பு ஆகும். ஒரு சிப்பை உருவாக்க, வடிவமைப்பு முதல் பகுதியாகும். வடிவமைப்பிற்கு EDA கருவி மற்றும் சில IP கோர்களின் உதவியுடன் செயலாக்கத்திற்குத் தேவையான சிப் வடிவமைப்பின் சிப் வடிவமைப்பின் உதவி தேவைப்படுகிறது.
சிப் உற்பத்தி செயல்முறை:
1. சிப் வடிவமைப்பு
சிப் என்பது சிறிய அளவு ஆனால் மிக அதிக துல்லியம் கொண்ட ஒரு தயாரிப்பு ஆகும். ஒரு சிப்பை உருவாக்க, வடிவமைப்பு முதல் பகுதியாகும். வடிவமைப்பிற்கு EDA கருவி மற்றும் சில IP கோர்களின் உதவியுடன் செயலாக்கத்திற்குத் தேவையான சிப் வடிவமைப்பின் சிப் வடிவமைப்பின் உதவி தேவைப்படுகிறது.
3. சிலிக்கான் -தூக்குதல்
சிலிக்கான் பிரிக்கப்பட்ட பிறகு, மீதமுள்ள பொருட்கள் கைவிடப்படுகின்றன. பல படிகளுக்குப் பிறகு தூய சிலிக்கான் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தரத்தை அடைந்துள்ளது. இது மின்னணு சிலிக்கான் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
4. சிலிக்கான் - வார்ப்பு இங்காட்கள்
சுத்திகரிக்கப்பட்ட பிறகு, சிலிக்கானை சிலிக்கான் இங்காட்களில் வார்க்க வேண்டும். இங்காட்டில் வார்க்கப்பட்ட பிறகு மின்னணு தர சிலிக்கானின் ஒரு படிகம் சுமார் 100 கிலோ எடையுள்ளதாக இருக்கும், மேலும் சிலிக்கானின் தூய்மை 99.9999% ஐ அடைகிறது.
5. கோப்பு செயலாக்கம்
சிலிக்கான் இங்காட்டை வார்த்த பிறகு, முழு சிலிக்கான் இங்காட்டையும் துண்டுகளாக வெட்ட வேண்டும், இது நாம் பொதுவாக வேஃபர் என்று அழைக்கும் வேஃபர், இது மிகவும் மெல்லியதாக இருக்கும். பின்னர், வேஃபர் சரியானதாக மாறும் வரை மெருகூட்டப்படுகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு கண்ணாடியைப் போல மென்மையாக இருக்கும்.
சிலிக்கான் வேஃபர்களின் விட்டம் 8 அங்குலம் (200மிமீ) மற்றும் 12 அங்குலம் (300மிமீ) விட்டம் கொண்டது. விட்டம் பெரியதாக இருந்தால், ஒற்றை சிப்பின் விலை குறைவாக இருக்கும், ஆனால் செயலாக்க சிரமம் அதிகமாகும்.
5. கோப்பு செயலாக்கம்
சிலிக்கான் இங்காட்டை வார்த்த பிறகு, முழு சிலிக்கான் இங்காட்டையும் துண்டுகளாக வெட்ட வேண்டும், இது நாம் பொதுவாக வேஃபர் என்று அழைக்கும் வேஃபர், இது மிகவும் மெல்லியதாக இருக்கும். பின்னர், வேஃபர் சரியானதாக மாறும் வரை மெருகூட்டப்படுகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு கண்ணாடியைப் போல மென்மையாக இருக்கும்.
சிலிக்கான் வேஃபர்களின் விட்டம் 8 அங்குலம் (200மிமீ) மற்றும் 12 அங்குலம் (300மிமீ) விட்டம் கொண்டது. விட்டம் பெரியதாக இருந்தால், ஒற்றை சிப்பின் விலை குறைவாக இருக்கும், ஆனால் செயலாக்க சிரமம் அதிகமாகும்.
7. கிரகணம் மற்றும் அயனி ஊசி
முதலில், ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டுக்கு வெளியே வெளிப்படும் சிலிக்கான் ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடை அரித்து, படிகக் குழாய்க்கு இடையில் காப்பிட சிலிக்கானின் ஒரு அடுக்கை வீழ்படிவாக்குவது அவசியம், பின்னர் கீழே உள்ள சிலிக்கானை வெளிப்படுத்த எட்சிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்த வேண்டும். பின்னர் சிலிக்கான் கட்டமைப்பில் போரான் அல்லது பாஸ்பரஸை செலுத்தி, பின்னர் மற்ற டிரான்சிஸ்டர்களுடன் இணைக்க தாமிரத்தை நிரப்பவும், பின்னர் அதன் மீது மற்றொரு அடுக்கு பசையைப் பயன்படுத்தி ஒரு அடுக்கு அமைப்பை உருவாக்கவும். பொதுவாக, ஒரு சிப்பில் அடர்த்தியாகப் பின்னிப் பிணைந்த நெடுஞ்சாலைகள் போன்ற டஜன் கணக்கான அடுக்குகள் இருக்கும்.
7. கிரகணம் மற்றும் அயனி ஊசி
முதலில், ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டுக்கு வெளியே வெளிப்படும் சிலிக்கான் ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடை அரித்து, படிகக் குழாய்க்கு இடையில் காப்பிட சிலிக்கானின் ஒரு அடுக்கை வீழ்படிவாக்குவது அவசியம், பின்னர் கீழே உள்ள சிலிக்கானை வெளிப்படுத்த எட்சிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்த வேண்டும். பின்னர் சிலிக்கான் கட்டமைப்பில் போரான் அல்லது பாஸ்பரஸை செலுத்தி, பின்னர் மற்ற டிரான்சிஸ்டர்களுடன் இணைக்க தாமிரத்தை நிரப்பவும், பின்னர் அதன் மீது மற்றொரு அடுக்கு பசையைப் பயன்படுத்தி ஒரு அடுக்கு அமைப்பை உருவாக்கவும். பொதுவாக, ஒரு சிப்பில் அடர்த்தியாகப் பின்னிப் பிணைந்த நெடுஞ்சாலைகள் போன்ற டஜன் கணக்கான அடுக்குகள் இருக்கும்.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-08-2023
