பொதுவாக, குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் வளர்ச்சி, உற்பத்தி மற்றும் பயன்பாட்டில் ஒரு சிறிய அளவு தோல்வியைத் தவிர்ப்பது கடினம்.தயாரிப்பு தரத் தேவைகளின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், தோல்வி பகுப்பாய்வு மேலும் மேலும் முக்கியமானது.குறிப்பிட்ட தோல்வி சில்லுகளை பகுப்பாய்வு செய்வதன் மூலம், சாதன வடிவமைப்பின் குறைபாடுகள், செயல்முறை அளவுருக்களின் பொருத்தமின்மை, புற சுற்றுகளின் நியாயமற்ற வடிவமைப்பு அல்லது சிக்கலால் ஏற்படும் தவறான செயல்பாடு ஆகியவற்றைக் கண்டறிய இது சுற்று வடிவமைப்பாளர்களுக்கு உதவும்.குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தோல்வி பகுப்பாய்வின் அவசியம் முக்கியமாக பின்வரும் அம்சங்களில் வெளிப்படுகிறது:
(1) தோல்வி பகுப்பாய்வு என்பது சாதன சிப்பின் செயலிழப்பு பொறிமுறையைத் தீர்மானிக்க தேவையான வழிமுறையாகும்;
(2) தோல்வி பகுப்பாய்வு பயனுள்ள தவறு கண்டறிதலுக்கு தேவையான அடிப்படை மற்றும் தகவலை வழங்குகிறது;
(3) தோல்வி பகுப்பாய்வு வடிவமைப்பு பொறியாளர்களுக்கு சிப் வடிவமைப்பைத் தொடர்ந்து மேம்படுத்த அல்லது சரிசெய்ய தேவையான பின்னூட்டத் தகவலை வழங்குகிறது மற்றும் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புக்கு ஏற்ப அதை மிகவும் நியாயமானதாக மாற்றுகிறது;
(4) தோல்வி பகுப்பாய்வு உற்பத்திச் சோதனைக்குத் தேவையான துணையை வழங்கலாம் மற்றும் சரிபார்ப்புச் சோதனைச் செயல்முறையை மேம்படுத்துவதற்குத் தேவையான தகவல் அடிப்படையை வழங்கலாம்.
செமிகண்டக்டர் டையோட்கள், ஆடியோன்கள் அல்லது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் தோல்வி பகுப்பாய்விற்கு, மின் அளவுருக்கள் முதலில் சோதிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கின் கீழ் தோற்றத்தை ஆய்வு செய்த பிறகு, பேக்கேஜிங் அகற்றப்பட வேண்டும்.சிப் செயல்பாட்டின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கும் போது, அடுத்த கட்ட பகுப்பாய்விற்கு தயாராகும் வகையில், உள் மற்றும் வெளிப்புற தடங்கள், பிணைப்பு புள்ளிகள் மற்றும் சிப்பின் மேற்பரப்பு ஆகியவற்றை முடிந்தவரை வைத்திருக்க வேண்டும்.
ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி மற்றும் ஆற்றல் ஸ்பெக்ட்ரம் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி இந்தப் பகுப்பாய்வைச் செய்தல்: நுண்ணிய உருவவியல், தோல்விப் புள்ளி தேடல், குறைபாடு புள்ளி கண்காணிப்பு மற்றும் இருப்பிடம், சாதனத்தின் நுண்ணிய வடிவவியல் அளவு மற்றும் தோராயமான மேற்பரப்பு சாத்தியமான விநியோகம் மற்றும் டிஜிட்டல் கேட்டின் தர்க்கத் தீர்ப்பு ஆகியவற்றின் துல்லியமான அளவீடு உட்பட. சுற்று (மின்னழுத்த மாறுபாடு பட முறையுடன்);இந்த பகுப்பாய்வைச் செய்ய ஆற்றல் ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டர் அல்லது ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டரைப் பயன்படுத்தவும்: நுண்ணிய உறுப்பு கலவை பகுப்பாய்வு, பொருள் அமைப்பு அல்லது மாசுபடுத்தும் பகுப்பாய்வு.
01. குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் மற்றும் தீக்காயங்கள்
மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் எரிதல் இரண்டும் பொதுவான தோல்வி முறைகள், படம் 1 இல் காட்டப்பட்டுள்ளது, இது ஒருங்கிணைந்த சுற்று சுத்திகரிக்கப்பட்ட அடுக்கின் குறைபாடு ஆகும்.
படம் 2 ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றின் உலோகமயமாக்கப்பட்ட அடுக்கின் மேற்பரப்பு குறைபாட்டைக் காட்டுகிறது.
ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றின் இரண்டு உலோகப் பட்டைகளுக்கு இடையே உள்ள முறிவு சேனலை படம் 3 காட்டுகிறது.
மைக்ரோவேவ் சாதனத்தில் காற்றுப் பாலத்தில் உலோகத் துண்டு சரிவு மற்றும் வளைவு சிதைவை படம் 4 காட்டுகிறது.
படம் 5 மைக்ரோவேவ் குழாயின் கட்டம் எரிவதைக் காட்டுகிறது.
படம் 6 ஒருங்கிணைந்த மின் உலோகக் கம்பியின் இயந்திர சேதத்தைக் காட்டுகிறது.
படம் 7, மீசா டையோடு சிப் திறப்பு மற்றும் குறைபாட்டைக் காட்டுகிறது.
ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றின் உள்ளீட்டில் பாதுகாப்பு டையோடின் முறிவை படம் 8 காட்டுகிறது.
ஒருங்கிணைந்த சுற்று சிப்பின் மேற்பரப்பு இயந்திர தாக்கத்தால் சேதமடைந்திருப்பதை படம் 9 காட்டுகிறது.
படம் 10, ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று சிப்பின் பகுதி எரிவதைக் காட்டுகிறது.
படம் 11, டையோடு சிப் உடைந்து கடுமையாக எரிக்கப்பட்டதைக் காட்டுகிறது, மேலும் முறிவுப் புள்ளிகள் உருகும் நிலைக்கு மாறியது.
படம் 12, காலியம் நைட்ரைடு மைக்ரோவேவ் பவர் டியூப் சிப் எரிந்ததைக் காட்டுகிறது, மேலும் எரிந்த புள்ளி உருகிய ஸ்பட்டரிங் நிலையைக் காட்டுகிறது.
02. மின்னியல் முறிவு
உற்பத்தி, பேக்கேஜிங், போக்குவரத்து ஆகியவற்றிலிருந்து செமிகண்டக்டர் சாதனங்கள் சர்க்யூட் போர்டில் செருகுதல், வெல்டிங், இயந்திரம் அசெம்பிளி மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு நிலையான மின்சாரம் அச்சுறுத்தலுக்கு உட்பட்டுள்ளன.இந்த செயல்பாட்டில், அடிக்கடி இயக்கம் மற்றும் வெளி உலகத்தால் உற்பத்தி செய்யப்படும் நிலையான மின்சாரத்தை எளிதில் வெளிப்படுத்துவதால் போக்குவரத்து சேதமடைகிறது.எனவே, இழப்புகளைக் குறைக்க பரிமாற்றம் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது மின்னியல் பாதுகாப்பிற்கு சிறப்பு கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.
யூனிபோலார் எம்ஓஎஸ் டியூப் மற்றும் எம்ஓஎஸ் இன்டக்ரேட்டட் சர்க்யூட் கொண்ட செமிகண்டக்டர் சாதனங்களில், நிலையான மின்சாரத்திற்கு குறிப்பாக உணர்திறன், குறிப்பாக எம்ஓஎஸ் டியூப், அதன் சொந்த உள்ளீடு எதிர்ப்பு மிகவும் அதிகமாக உள்ளது, மேலும் கேட்-சோர்ஸ் எலக்ட்ரோடு கொள்ளளவு மிகவும் குறைவாக உள்ளது, எனவே இது மிகவும் எளிதானது. வெளிப்புற மின்காந்த புலம் அல்லது மின்னியல் தூண்டல் மற்றும் மின்னூட்டத்தால் பாதிக்கப்பட்டு, மின்னியல் உருவாக்கம் காரணமாக, சரியான நேரத்தில் மின்னேற்றத்தை வெளியேற்றுவது கடினம், எனவே, நிலையான மின்சாரம் குவிந்து சாதனத்தின் உடனடி முறிவுக்கு காரணமாகிறது.மின்னியல் முறிவின் வடிவம் முக்கியமாக மின் நுட்பமான முறிவு ஆகும், அதாவது, கட்டத்தின் மெல்லிய ஆக்சைடு அடுக்கு உடைந்து, ஒரு பின்ஹோலை உருவாக்குகிறது, இது கட்டத்திற்கும் மூலத்திற்கும் இடையில் அல்லது கட்டம் மற்றும் வடிகால் இடையே இடைவெளியைக் குறைக்கிறது.
மற்றும் MOS குழாயுடன் ஒப்பிடும்போது MOS ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று ஆண்டிஸ்டேடிக் முறிவு திறன் ஒப்பீட்டளவில் சற்று சிறப்பாக உள்ளது, ஏனெனில் MOS ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றின் உள்ளீட்டு முனையம் பாதுகாப்பு டையோடு பொருத்தப்பட்டுள்ளது.ஒரு பெரிய மின்னியல் மின்னழுத்தம் அல்லது எழுச்சி மின்னழுத்தம் இருந்தால், பெரும்பாலான பாதுகாப்பு டையோட்களில் தரைக்கு மாறலாம், ஆனால் மின்னழுத்தம் மிக அதிகமாக இருந்தால் அல்லது உடனடி பெருக்க மின்னோட்டம் மிக அதிகமாக இருந்தால், சில சமயங்களில் பாதுகாப்பு டையோட்கள் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது. 8.
படம்13 இல் காட்டப்பட்டுள்ள பல படங்கள் MOS ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றின் மின்னியல் முறிவு நிலப்பரப்பு ஆகும்.முறிவு புள்ளி சிறியது மற்றும் ஆழமானது, இது உருகிய ஸ்பட்டரிங் நிலையை அளிக்கிறது.
கணினி வன் வட்டின் காந்தத் தலையின் மின்னியல் முறிவின் தோற்றத்தை படம் 14 காட்டுகிறது.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-08-2023